抄録
研磨加工に替わって効率よくクリーンな鏡面創成が実現できれば有益である．対策の1つとして研削加工が挙げられるが，砥粒を微細化しただけの従来仕上げ用砥石では，研磨加工に及ばないのが現状である．そこで本研究では，研磨加工に匹敵する仕上げが可能となる研削砥石の開発を試みた．開発のヒントを天然砥石の仕上げ砥（合砥）に求め，その組成や構造を調した．その結果から合砥に基づいた人工砥石を提案し，積層構造を持つシリカ雲母砥石を開発した．この砥石を用いて3インチシリコンウエハの定圧研削を行った結果，1nmRa，7nmRzの鏡面創成が可能であることがわかった．
