抄録
超音波加工はセラミックス材料等の高硬度脆性材料に適しているが，加工速度が一般の切削加工と比較して遅いことが欠点として挙げられる．そこで，この欠点を克服する目的で予備加工として ZrO2 の超音波加工領域にあらかじめ種々の条件で炭酸ガスレーザを照射した．そしてレーザ照射後に超音波加工を行い加工深さ，加工寸法精度そして工具摩耗の変化を調べた．その結果，超音波加工する深さによって最適なレーザ照射条件が存在することを確認した．それは，工具送り量が1000μmの場合，アシストガスが空気でレーザ出力30W，走査速度が6000mm/minであった．
