リニアモータ駆動･水静圧案内テーブルの開発

(磁気吸引力に起因するピッチングとヨーイングの抑制)

抄録

環境に優しい水を作動流体としたリニアモータ駆動･水静圧案内テーブルを開発した．その運動精度を測定したところ，微細な周期的ピッチングが観察された．本研究では，このような角度偏差（ピッチング，ヨーイング）の原因を調べた結果，コイルスライダのコアが永久磁石列（配列ピッチ30mm）から受ける吸引力の変動に起因するモーメントバランスが30mm周期でくずれるためとわかった．そこで，テーブル端に強磁性体を設置し，カウンタバランサとして機能させた．最適と推定されたカウンタバランサ位置で，テーブルの角度偏差を目標値以内に抑制できた．