パウダージェットデポジション（PJD）における粒子破砕挙動と成膜メカニズムに関する研究

抄録

本研究では，パウダージェットデポジション（PJD）における基板衝突後の破砕粒子の観察と粒子内部の応力分布から粒子の積層メカニズムについて検討を行った．さらに，平滑化粒子法（SPH法）と古典分子動力学法（CMD法）の併用により，粒子内部の付着可能領域を導出した．その結果，PJDによる成膜層は，衝突時のエネルギにより粒子内部に創成された微結晶構造が剥がれおち，堆積して作られることを明らかとした．また，基板に衝突する1粒子内の付着可能領域について明らかとした．