高能率鏡面研磨用砥粒（MeCCA）の開発

～サファイアに対する湿式研磨性能およびウェーハ品質評価～

抄録

サファイア，SiC，GaNに代表される高硬度結晶材料はグリーンエネルギーやグリーンデバイス用途の基板として注目されている．これらの材料は研磨加工に長時間を要するため，ダメージの少ない鏡面研磨が実現できれば有益である．本研究では，湿式メカノケミカルポリッシングを可能とする新規な砥粒（MeCCA）を開発し，研磨性能を調査した．その結果，サファイアに対してダイヤモンドスラリーと同等の除去能率で0.466nm Raの鏡面創成が実現できた．