コアシェル粒子スラリーの金属表面加工への適用
—Ni面における加工特性評価—
2025 年 69 巻 2 号 p. 92-97
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2025 年 69 巻 2 号 p. 92-97
光学ミラ-に用いられる金属表面の平滑な局所加工を目的に，低密度で滑らかな球体形状を有するポリウレタン@シリカコアシェル粒子を回転ツ-ル加工とスラリ-ジェット加工の2種の加工法に適用した．Ni表面を約60 nmの深さに加工することでスラリ-条件が加工面粗さに与える影響を調査した結果，粒径変化の影響は加工法によって異なった一方，スラリ-濃度の増加が粗さを減少させる傾向が2手法で共通して示された．最適化したスラリ-条件では，いずれの手法でも視野約0.1 mm~500 nm四方の領域においてサブnmレベルの表面粗さが得られた．
