抄録
本研究では，これまでのMEMSセンサに関する研究で用いられていない高精度傾斜センサによる振動測定装置を試作した．高精度傾斜センサは一般的なMEMSセンサと比べて分解能が高く，自己ノイズも小さいため，従来よりも小さな振動を測定することができる．
試作した振動測定装置の性能を調べるためにサーボ型加速度計とともに，木造建物の常時微動を測定し，加速度フーリエスペクトルから建物の振動特性を評価した．これらの装置の計測波形から求めたフーリエスペクトルの固有振動数は概ね一致した．また，サーボ型加速度計で評価した伝達関数の固有振動数はフーリエスペクトルの固有振動数と近い値となった．
