Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics
Online ISSN : 2424-2837
2003
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OS4(1)-2(OS04W0204) Effect of Powder Target on Crystal Orientation and Residual Stress in Sputtered GaN Film
Kazuya KusakaTakao HanabusaKikuo Tominaga
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p. 72-

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© 2003 The Japan Society of Mechanical Engineers
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