OS4(1)-1(OS04W0010) GIXRD Residual Stress Analysis on CVD Tantalum Thin Films

Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics

Online ISSN : 2424-2837

2003

DOI https://doi.org/10.1299/jsmeatem.2003.71

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OS4(1)-1(OS04W0010) GIXRD Residual Stress Analysis on CVD Tantalum Thin Films

J. Peng, V. Ji, W. Seiler, A. Levesque, A. Bouteville, C. Braham

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p. 71-

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