計算力学講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2799
セッションID: 1702
会議情報
1702 STI型ULSI素子の微細化に伴う転位蓄積の結晶塑性解析(OS17. 電子デバイス・電子材料と計算力学(1),オーガナイズドセッション講演)
佐藤 満弘, 大橋 鉄也, 長谷川 直哉, 丸泉 琢也
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© 2010 一般社団法人 日本機械学会
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