セッションID: 04b3
会議情報
主催: 一般社団法人 日本機械学会
会議名: 日本機械学会 中国四国支部第60期総会・講演会
開催日: 2022/03/04
光てこAFMのダイナミック計測における表面力の影響
（空気膜スクイズ反力を考慮した解析）
キーワード:
Atomic Force Microscope (AFM),
Cantilever,
Forced Vibration,
Optical Lever Method,
Surface Force
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