流体工学部門講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2896
セッションID: F2-3
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F2-3 めっき膜のナノ構造制御理論(F.2 半導体製造工程は,今何が問題なのか)
渡辺 徹
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抄録
In this paper, the new structure control theory of plated film, artificial techniques to produce the microstructure of plated film and the process to make three-dimensional structure by plating technology are explained.
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© 2001 一般社団法人 日本機械学会
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