日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2691
ISSN-L : 2424-2691
セッションID: 21612
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21612 可変キャパシタ機構を利用した静電アクチュエータ制御システムの開発 : (第3報)静電浮上実験(電磁力の制御,OS.1 実システムのモデリングと制御)
塚田 真也高崎 正也石野 裕二水野 毅
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抄録
Electrostatic levitation is achieved with the control system that is characterized by using a variable capacitor mechanism. In the control system, a variable capacitor is connected with an electrostatic actuator in series. A constant high voltage is applied to this connection. The voltage applied to the actuator is controlled by changing the capacitance of the variable capacitor. An apparatus was fabricated for electrostatic levitation. The capability of electrostatic levitation by the proposed control system was verified experimentally.
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© 2007 一般社団法人 日本機械学会
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