日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2691
ISSN-L : 2424-2691
セッションID: 21114
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21114 Siナノホールの作製と超臨界CO_2によるCu埋め込み(配線技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
玉井 架, 松原 正弘, 李 佳龍, 松村 道雄, 近藤 英一
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© 2009 一般社団法人 日本機械学会
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