日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2691
ISSN-L : 2424-2691
セッションID: 1304
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会　関東支部第23期総会・講演会

開催日: 2017/03/16 - 2017/03/17

複数方向からの露光量差を利用した中空円筒基板の両面同時露光装置の改良
*寺門 和宏, *長澤 純人
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キーワード: exposure, Hollow cylinder, plurality of direction, Ultraviolet rays, Snell's law
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