高精度反射鏡調整機構の熱変位特性

年次大会

Online ISSN : 2424-2667
ISSN-L : 2424-2667

2018

セッションID: J1910004

会議情報

主催: 一般社団法人日本機械学会

会議名: 2018年度年次大会

開催日: 2018/09/09 - 2018/09/12

高精度反射鏡調整機構の熱変位特性

*田畑真毅

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キーワード: Mirror, Adjustment, Mechanism, Thermal, Space

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