OS0419 AFM画像へのデジタル画像相関法の適用 : 面外変形の考慮と精度向上に関する検討(原子スケールモデリングとナノ・マイクロ実験力学(2))

抄録

材料の表面形状の情報を持つ原子間力顕微鏡画像に変位・ひずみ計測手法であるデジタル画像相関法を適用することで,材料のマイクロ・ナノスケールでの平面内のひずみ場の計測が可能となる.しかし,AFM画像は測定中の外乱の影響によって面内及び面外でゆがむ.本報では,AFM画像の持つ表面形状の高さ情報を用いて面外変形を考慮することで,変位分布計測精度の向上に関する検討を行った.さらに測定中の主な外乱であるドリフトの影響によるAFM画像の面内,面外の変形を計測し,高精度化への指針を検討した.