206 MEMS作製のための多種材料による積層造形に関する研究(OS2-2 デジタル設計・評価・製造システムII)

抄録

本研究では,多種の材料を積層して微細構造を作製することにより,電気的特性や機械的特性の設計の自由度を高めたMEMS作製法について扱う.現在のMEMSの多くは半導体プロセスの微細加工技術を用いているため,使用できる材料に制限がある.そこでラピッドプロトタイピングで活用されている積層造形を応用し,異なる材料を組み合わせたMEMS作製方法を提案する.