2P2-47-068 単相入力によるマイクロロボット用超音波モータの駆動特性

抄録

円環形超音波モータは従来2相入力で駆動をするため, 超音波モータの小型化には困難であった。本研究では, 内側および外側電極の配置により単相入力で進行波を発生する超音波モータを提案する。進行波の発生要因として, 内側電極または外側電極のみの振動モードと位相差が関係していることが分かった。また, 共振周波数と異なる駆動周波数による駆動特性の向上を検討した。