2P2-61-093 微小なセンサとアクチュエータを集積した流体制御システム

抄録

近年, MEMS技術を用いて流れの検知や流体制御を行う試みが盛んに行われている。そのひとつに壁面にセンサ, アクチュエータを多数取りつけ, コントローラでフィードバック制御するスマートスキンというシステムがある。本研究では, ホットワイヤセンサ, フラップ型電磁アクチュエータを用いたスマートスキンを製作し, 流体制御システムを構築することを目的としている。