1A1-63-092 化学 IC 用マイクロ切替えバルブチップの開発

抄録

化学IC内部の複数の流路を動的に切替え, 反応系の動的改編など高次の反系系を構築することを目的としたマイクロ切替えバルブチップを試作した。このチップはひとつの入力口とふたつの出力口を持ち, 出力口の切替えを高速に行える。能動バルブの駆動にはSMAマイクロアクチュエータを利用し, 高速な切替えを実現した。他の化学ICチップと結合したマイクロ実験系を構築し, 本チップの基本機能の実証を行った。