1A1-63-091 化学 IC 用マイクロポンプチップの開発

抄録

化学ICファミリーの中でも特に重要となるSMA駆動方式のマイクロポンプチップを開発した。ハイプリッドマイクロ光造刑法を用い光硬化ポリマーとSMAのハイブリット構造となっている。現段階ではワンチップに3個のマイクロポンプが内蔵されている。本チップを用いることで, 外部ポンプ無しで化学IC内の微少化学流体の搬送が可能となる。他の化学ICチップと結合した実験系を構築し, 本チップの有効性を実証した。