1A1-B03 真空環境におけるランプ入力による静電浮上レールの試作

抄録

今後, 超高真空状態を使用する装置においては, 高精度な搬送装置の必要性が高まると予測される。しかし, 真空環境における摩擦等の問題により, 有効な搬送手段は確立されていない。このため, 新野らは静電気力を用いた真空中静電浮上装置(静電浮上レール)を開発した。これは並進方向に非拘束な自由度を有する。この静電浮上は高電圧を必要とし, 高価な増幅器が求められる。そこで, 定電圧電源を併用し, さらに浮上をランプ入力で行うことにより増幅器からの出力電圧の軽減をはかる。