1A1-D01 可変焦点ミラーを用いた定倍率焦点調節機構の検討

抄録

顕微鏡下のハンドリングに有効な全焦点画像表示や合焦法による外観形状検査に必要な焦点調節において, ビデオレートで動作可能な高速焦点調節機構は大変有用である。また焦点調節の過程で倍率を一定に保つことができれば一層好ましい。そこで可変焦点ミラーとテレセントリックレンズからなる定倍率可変焦点調節機構を考案した。結像特性の計算機シミュレーションと可変焦点ミラーを擬似する焦点距離の異なる固定凹面ミラーを用いた光学実験により, 可変焦点ミラーを用いて定倍率可変焦点調節機構を実現できる見通しを得た。