2A1-J04 零位法の適用による動圧を利用した砥石磨耗のインプロセス補償

抄録

加工誤差の要因の一つとして, 研削砥石の磨耗が考えられる.本報では, インプロセスで砥石磨耗量に応じて主軸変位を制御することで, 研削加工を高精度化した結果について述べる.湿式研削時に砥石に近接して配置した圧力センサとの間に研削液により発生する動圧はギャップ長に応じて変化する.この圧力を一定に保つように圧力センサを駆動したときの変位が砥石磨耗量となる.加工誤差は, 補償用切り込みステップより小さくなった.