2P1-2F-E5 合焦点法を用いた CSP/BGA 外観検査装置

抄録

はんだバンプ配列の平坦性, バンプの形状欠陥等をshape from focus法により検査する方式について報告する。特に実装上重要なバンプ配列の平坦性を画像の合焦度解析により基準高さにおけるバンプ水平断面の大きさから評価する方法を提案する。