1A1-1F-E8 シート形アクティブシャトル弁を用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ

抄録

本報では, 吸入側および吐出側チェック弁の開閉タイミングを一つの圧電素子を用いて能動的に制御することにより高出力化を図った1cm立方サイズの共振駆動形圧電マイクロポンプを提案, 試作し, ポンプ出力特性に対する実験的検討をおこなう。