2P1-3F-G7 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ

抄録

活動中の生体において, 低侵襲で安定した神経電位計測のため, フレキシブル基板を持つ微小剣山型電極を, MEMS技術により製作した。ポリイミド薄膜をスピンコートしたシリコンウェハに, DeepRIEを用いてプローブアレイを形成し, 剣山型電極の柔軟性を向上させた。