2A1-3F-G1 微細な MEMS 構造への圧電素子の実装とその応用

抄録

圧電原理はマイクロマシンの重要な駆動原理であり, 依然として外付けの圧電素子の実装が盛んである。本発表では, 圧電素子とMEMS構造の集積・一体化の方法に関する取り組みとその応用について報告する。