ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集
Online ISSN : 2424-3124
セッションID: 2P1-C22
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2P1-C22 透過型電子顕微鏡用ナノマニピュレータによるシリコンマイクロチップを用いたその場引張試験(ナノ・マイクロ作業システム)
中島 正博安藤 妙子石原 英和中尾 茂樹荒井 重勇佐藤 一雄福田 敏男
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抄録
In situ tensile tests of single crystal silicon beam are presented inside a Transmission Electron Microscope (TEM) by the nanomanipulator using silicon microchips. The process of cleavage creation is determined for a silicon beam by a CCD camera. The bend contours of the silicon beam are observed with the high resolution TEM images in a real-time scale.
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© 2008 一般社団法人 日本機械学会
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