東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 421
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421 硬質薄膜のトライボロジー特性に関する基礎的研究 : 薄膜の破断(クラック)特性(O.S.8. 微細精密加工と材料)
小林 明発, 加藤 明弘, 永峰 雄作, 二村 公仁, 南川 博司
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