405 C-N系薄膜の微細構造に与えるNイオン照射効果(薄膜創成・物性)

東海支部総会講演会講演論文集

Online ISSN : 2424-2748

セッションID: 405

DOI https://doi.org/10.1299/jsmetokai.2001.50.189

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405 C-N系薄膜の微細構造に与えるNイオン照射効果(薄膜創成・物性)

太田英伸, 松室昭仁, 高橋裕

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