ユビキタスデバイス開発を加速する新しいエレクトロニクス材料

材料

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講座

ユビキタスデバイス開発を加速する新しいエレクトロニクス材料

４．MEMS 応用に向けた圧電体薄膜の高性能化

吉村武

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ジャーナルフリー

2023 年 72 巻 11 号 p. 836-842

DOI https://doi.org/10.2472/jsms.72.836

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© 2023 日本材料学会

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