精密工学会誌論文集
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論文
引き上げ法によるカーボンナノチューブ探針の簡易作製
有馬 則和松室 昭仁
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2005 年 71 巻 2 号 p. 267-272

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抄録
簡易かつ量産性のあるカーボンナノチューブ (CNT) 探針作製法を確立するため, 引き上げ法を考案した. 導電性平板上に滴下したCNT分散液から, 電圧を印加したW探針を引き上げるのみの作製法である. 作製時間1分, 作製率70%で, W探針先端から一本のCNTが突起した形態のSTM用CNT探針が作製可能であった. さらに本手法は, 同工程でAFM用CNT探針も作製可能であった.
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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