名古屋大学大学院
71 巻 (2005) 2 号 p. 267-272
(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)
(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)
簡易かつ量産性のあるカーボンナノチューブ (CNT) 探針作製法を確立するため, 引き上げ法を考案した. 導電性平板上に滴下したCNT分散液から, 電圧を印加したW探針を引き上げるのみの作製法である. 作製時間1分, 作製率70%で, W探針先端から一本のCNTが突起した形態のSTM用CNT探針が作製可能であった. さらに本手法は, 同工程でAFM用CNT探針も作製可能であった.
精密工学会誌
すでにアカウントをお持ちの場合 サインインはこちら
