EEM (Elastic Emission Machining) プロセスにおける微粒子表面の形態が加工表面に及ぼす影響

抄録

表面形態が異なる2種類のシリカ微粒子を用いて, EEMによるSi(001) 表面の加工を試み, 微粒子表面の形態が, 加工表面のマイクロラフネスや加工速度に及ぼす影響を検討した. 微粒子表面の幾何学的構造を明らかにした上で, 加工表面と微粒子表面の形態に相関関係があることを示した.