スマートプロセス学会誌
Online ISSN : 2187-1337
Print ISSN : 2186-702X
ISSN-L : 2186-702X
表面再構成構造を利用したSiへの希土類元素の高濃度ドーピング
宮田 祐輔奥山 祥孝藤村 紀文
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2013 年 2 巻 5 号 p. 219-223

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© 2013 一般社団法人 スマートプロセス学会
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