抄録
SPring-8のような第3世代放射光施設では，高輝度・高平行性という特徴を活かしたX線領域での集光光学素子の開発が盛んであり，試料上でのサイズは“ナノビーム”と呼ばれる領域に達している．X線顕微鏡は投影型，結像型，走査型のように大まかに分類することができ，投影型を除き集光素子を用いることで高空間分解能が実現できる．結像型の代表的な例は位相イメージングやマイクロトモグラフィーであり，その分解能は100nm程度である．ここでは主に走査型顕微鏡について述べるが，これは対物レンズとして集光素子を試料前に配置し，試料を走査する（通常はXYの2軸）ものとなっている．ここで集光X線に照射された各点からの蛍光X線を計測すれば，特定の元素の分布が得られることになる．SPring-8 BL37XU では空間分解能1μm2程度でCaより元素番号の大きなものの蛍光X線分析が可能である．また，得られた元素分布像を基にしてX線吸収スペクトルやX線回折などの測定との組み合わせも行うことができ，物質評価の観点では，強力なツールである．
講演では，走査型X線顕微鏡のポテンシャルや，物質科学，地球化学など種々の分野への応用例などについて述べる．
