走査電子顕微鏡による凹凸の測定第1報

抄録

走査電子顕微鏡を用い試料の立体写真を撮影し, 撮影された写真を解析することにより試料の断面図を得た。断面図は実際の試料断面と良く一致した。更に図化器を使用して試料の等高線図を得た。又高さ測定における誤差について理論的検討を行なった。