抄録
有機物を部分的に酸化分解可能な光触媒活性を有するフォトマスクを用いて、新規マイクロパターニング技術について研究した。酸化チタンがコーティングされたフォトマスクと有機物がコーティングされた基板とを酸化チタンと有機物が接触もしくはあるギャップ(0∼300μm)を開けて設置され、フォトマスク側から露光した。有機物は、フッ素系の撥油性材料と交互吸着膜を使用した。その結果、フッ素系の撥油性材料は1分以下の露光で分解され、20μmの解像度で親油性と撥油性のパターンが形成された。また、交互吸着膜はパターンでのエッチングが可能であった。
