早稲田大学理工学部
1989 年 10 巻 10 号 p. 884-890
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高真空技術と超高真空技術を表面科学や電子源開発の関連で歴史的に紹介し, 次世代の真空技術である極高真空技術の現状と問題点について述べる。
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