気相からのダイヤモンドおよびダイヤモンドライクカーボンの生成

抄録

気相からのダイヤモンドおよびダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon: DLC)の生成方法および応用分野について紹介する。 マイクロ波プラズマCVD法において,炭素源としてメタンを,希釈ガスとして水素,アルゴンを用いた場合の生成物と気相中の種の関係,および炭素源としてアセトン,一酸化炭素を用いた場合の生成物と気相中の種の関係について述べる。また,低温合成に関して,炭素源をハロゲン化炭素を用いた結果について紹介する。