SIMSとSAMによる粒界の研究

抄録

セラミックス粒界の組成と状態を評価する手法として,SIMSとSAMが最近盛んに用いられるようになってきている。空間分解能・対象元素・状態分析といった,この2つの手法の特徴と限界について概説する。SIMSとSAMを利用した粒界研究の例として,酸化物セラミックス中の酸素イオンや添加物の粒界拡散,粒界付近の構成元素の分布の測定結果について述べるとともに,添加物による粒界の酸化還元状態の変化についてふれる。