希ガスの準安定原子A*を固体表面に衝突させると, A*は直接的に,または中間状態を経て段階的に基底状態に脱励起し,表面から電子が放出される。このイオン化過程の最もユニークな点は,電子の放出が表面最外層から選択的に起こることで,最外層の電子分布(いいかえれば,表面波動関数の空間分布)が重要な役割を果たす。本稿では, A*と表面の相互作用,実験方法を述べた後,測定例をわれわれの研究室で得られた結果を中心に解説する。また, A*のスピンが反転する現象や多体効果についても簡単に紹介し,今後の問題点を探る。