大気圧中での表面科学―OMCVDによるGaAs結晶成長

抄録

近年,大気圧中での固体表面の原子配列の原子レベルでの解明が純科学的な興味のみならず,工業的にも重要となってきた。ここではその一例として大気圧中での半導体結晶成長時の表面の構造とその解析について概説をおこなう。