裸眼で3D観察ができる「電子顕微鏡」が誕生 微小な試料もリアルタイムで観察可能に

抄録

立体画像をリアルタイムに観察できる走査電子顕微鏡（SEM）と裸眼対応の高解像度3Dモニターの開発に成功したのは、株式会社日立ハイテクノロジーズらのチームだ。この画期的なSEMにはどのような可能性があるのだろうか? 開発チームのリーダーで日立ハイテクノロジーズの伊東祐博部長らに話を聞いた。