超高速度イメージセンサ

―来し方ゆくえ―

抄録

高速度ビデオカメラはいくつかの重要な技術的イノベーションで進化した。1980年代は、並列・部分読み出し方式のイメージセンサの登場で、撮影速度が1,000枚／秒程度にまで上がった。記録装置は磁気テープであった。1989年に記録装置をデジタルメモリーに置き換えた高速度ビデオカメラが登場した。2001年に、画像信号をイメージセンサの外部の記録装置に読み出すのではなく、各画素内に記録領域を作り込んだ「その場記録イメージセンサ」が実用化され、100万枚／秒以上での動画撮影が可能になった。2011年に裏面照射型のバーストイメージセンサが開発された。現在さらに、表面側に別の半導体チップを接合した3次元接合型イメージセンサが開発されている。シリコンイメージセンサの撮影速度はどこまで上がるのだろうか。最後に、理論的に求められたシリコンイメージセンサの理論的最高撮影速度を紹介する。