真空
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速報
堆積部位に磁場を印加しつつ堆積した高周波マグネトロンスパッタ法によるBi2Sr2Can-1CunOy超伝導薄膜の作製
大西 隆洋斎藤 賢治尾内 由香里藤原 直樹岸田 悟
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2005 年 48 巻 3 号 p. 181-183

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抄録
We deposited Bi2Sr2Can-1CunOy (Bi-based) superconducting thin films by the RF magnetron sputtering under external magnetic field of about 1 T. The as-deposited films were Bi-2223 single-phase, and their Tc was about 70 K without any in-situ or ex-situ annealing process. Therefore, this method is thought to be useful for obtaining the Bi-based films with high Tc.
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© 2005 日本真空協会
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