真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
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数値流体力学を用いた GaN 化学気相成長プロセスの最適化
株式会社ウェーブフロント
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2006 年 49 巻 9 号 p. 544-546

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