真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
解説
スパッタ原子輸送シミュレーションの応用
山崎 登志成, 吉澤 寿夫
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2006 年 49 巻 9 号 p. 547-551

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